标题 |
SIMS Analysis of Ultra-Shallow Boron Implant
超浅硼注入体的SIMS分析
相关领域
二次离子质谱法
表征(材料科学)
硼
离子注入
材料科学
光电子学
缩放比例
植入
二次离子质谱
晶体管
半导体
瞬态(计算机编程)
离子
分析化学(期刊)
硅
纳米技术
化学
电气工程
计算机科学
电压
工程类
外科
有机化学
几何学
操作系统
医学
色谱法
数学
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊: 作者:Han Wei Teo; Y. Wang; Kenny Ong; Zhi Qiang Mo 出版日期:2021-09-15 |
求助人 | |
下载 | 该求助完结已超 24 小时,文件已从服务器自动删除,无法下载。 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|