Design and fabrication of through-glass via (TGV) based 3D spiral inductors in fused silica substrate

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标题	Design and fabrication of through-glass via (TGV) based 3D spiral inductors in fused silica substrate 熔融石英衬底上基于TGV的三维螺旋电感的设计与制作相关领域材料科学电感器制作电感光刻胶电磁线圈 Q系数光电子学基质（水族馆）欧姆接触复合材料电气工程图层（电子）谐振器工程类地质学海洋学病理医学电压替代医学
网址	https://doi.org/10.1007/s00542-021-05244-x
DOI	10.1007/s00542-021-05244-x doi
其它	期刊：Microsystem Technologies 作者：Harindra Kumar Kannojia; Aboobackkar Sidhique; Ambika Shanker Shukla; Jaising Pednekar; Shalabh Gupta; et al 出版日期：2021-11-22
求助人	花栗鼠在 2023-12-12 08:29:12 发布自广东，悬赏 10 积分
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