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标题
Fundamentals of Electron Beam Exposure and Development
电子束曝光与显影基础
相关领域
电子束光刻 纳米压印光刻 抵抗 极紫外光刻 纳米光刻 平版印刷术 材料科学 下一代光刻 纳米技术 模版印刷 多重图案 制作 X射线光刻 光电子学 病理 替代医学 医学 图层(电子)
网址
DOI
10.1007/978-3-7091-0424-8_2 doi
其它 期刊:Nanofabrication
作者:Mohammad Ali Mohammad; Mustafa Muhammad; S. K. Dew; Maria Stepanova
出版日期:2011-10-04
求助人
lan 在 2024-02-19 21:33:10 发布自甘肃,悬赏 10 积分
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