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标题
Etching mechanism of amorphous hydrogenated silicon nitride by hydrogen fluoride
氟化氢腐蚀非晶态氢化氮化硅的机理
相关领域
材料科学 无定形固体 氮化硅 蚀刻(微加工) 活化能 氮化物 解吸 密度泛函理论 化学工程 化学物理 物理化学 分析化学(期刊) 计算化学 结晶学 化学 纳米技术 吸附 有机化学 图层(电子) 冶金 工程类
备注
求助官方正版,不要手稿,谢谢了。
网址
DOI
10.1016/j.apsusc.2024.159414 doi
其它 期刊:Applied Surface Science
作者:Khabib Khumaini; Yewon Kim; Romel Hidayat; Tanzia Chowdhury; Hye-Lee Kim; et al
出版日期:2024-01-20
求助人
StevenZhao 在 2025-02-08 17:52:23 发布自湖北,悬赏 10 积分
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