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 Gate-Cut-Last in RMG to Enable Gate Extension Scaling and Parasitic Capacitance Reduction RMG中的栅极切割最后实现栅极扩展缩放和寄生电容降低
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期刊： 作者：Andrew Greene; Huimei Zhou; Ruilong Xie; Chanro Park; Laertis Economikos; et al 出版日期：2019-06-01 |
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