标题 |
Research on diameter control of Czochralski Silicon Single Crystal based on PSO parameter tuning for RNN-PFDL-MFAC
基于PSO参数整定的RNN-PFDL-MFAC直拉硅单晶直径控制研究
相关领域
粒子群优化
等温过程
控制理论(社会学)
超参数
材料科学
算法
计算机科学
控制(管理)
物理
人工智能
热力学
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期刊: 作者:Shengzhe Xu; Dedong Gao; Shan Wang; Haohao Wu; Haixin Lin; et al 出版日期:2023-11-02 |
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