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标题
Study of high-temperature Smart Cut™: Application to thin films of single crystal silicon and silicon-on-sapphire films
高温智能切割™的研究：在单晶硅薄膜和蓝宝石硅薄膜中的应用
相关领域
硅 外延 材料科学 基质（水族馆） 薄脆饼 光电子学 薄膜 分析化学（期刊） 纳米技术 化学 有机化学 海洋学 地质学 图层（电子）
网址
http://dx.doi.org/10.1109/ULIS.2015.7063800
AI链接 archives-ouvertes.fr hal.sciencedoi.org
DOI
10.1109/ULIS.2015.7063800 doi
求助人
邱清 在 2025-01-12 16:08:56 发布自四川，悬赏 10 积分
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