MEMS on cavity-SOI wafers

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标题	MEMS on cavity-SOI wafers 腔体SOI晶片上的MEMS 相关领域绝缘体上的硅微电子机械系统薄脆饼蚀刻（微加工）材料科学光电子学振膜（声学）制作晶片键合干法蚀刻稀释硅灵活性（工程）纳米技术电气工程工程类图层（电子）病理扬声器统计生物医学替代医学数学生态学
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.sse.2007.01.007
DOI	10.1016/j.sse.2007.01.007 doi
求助人	风中的夕阳在 2024-12-23 13:26:08 发布自日本，悬赏 10 积分
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