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New Top-Down Approach for Fabricating High-Aspect-Ratio Complex Nanostructures with 10 nm Scale Features
制备具有10 nm尺度特征的高纵横比复杂纳米结构的自上而下的新方法
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期刊:Nano Letters 作者:Hwan-Jin Jeon; Kyoung Hwan Kim; Youn-Kyoung Baek; Dae Woo Kim; Hee‐Tae Jung 出版日期:2010-08-17 |
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