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Understanding phase evolution of ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films with Al2O3 and Y2O3 inserted layers
了解具有Al2O3和Y2O3插入层的铁电Hf0.5Zr 0.5 O2薄膜的相演化
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期刊:Journal of Materials Chemistry C 作者:Jonghoon Shin; Haengha Seo; Kun Hee Ye; Yoon Ho Jang; Dae Seon Kwon; et al 出版日期:2024-01-01 |
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