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Design and Fabrication of a TR Microsystem in Ka Band with Si-Based 3D Heterogeneous Integration
硅基三维异质集成Ka波段TR微系统的设计与制作
相关领域
微系统
制作
Ka波段
材料科学
计算机科学
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纳米技术
电信
医学
替代医学
病理
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期刊:IEEE transactions on components, packaging, and manufacturing technology 作者:F. Richard Yu; Xi Shan Guo; Siyuan Ma; Chenge Wang; Guangjian Feng; et al 出版日期:2024-01-01 |
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