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 Effect of hydrogen peroxide pretreatment on ZnO-based metal–semiconductor–metal ultraviolet photodetectors deposited using plasma-enhanced atomic layer deposition 过氧化氢预处理对等离子体增强原子层沉积法制备的ZnO基金属-半导体-金属紫外光探测器的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Yu‐Chang Lin; Hsin-Ying Lee; Tsung-Hsin Lee 出版日期：2015-10-14 |
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