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Simulation, Microfabrication, and Control of a Microheater Array

微型加热器 微加工 材料科学 制作 温度控制 加热元件 热的 纳米技术 计算机科学 机械工程 工程类 复合材料 物理 病理 气象学 替代医学 医学
作者
Chengjian Zheng,Prabhu Balasubramanian,Yizheng Tan,Antoinette M. Maniatty,R. Hull,John T. Wen
出处
期刊:IEEE-ASME Transactions on Mechatronics [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:22 (4): 1914-1919 被引量:5
标识
DOI:10.1109/tmech.2017.2650682
摘要

This paper describes the simulation, fabrication, and feedback control of a microheater array designed for the implementation of real-time control during thermal evolution of microstructure. The ten-channel heating array was designed through finite element simulation and microfabricated to be compatible with in situ imaging in a scanning electron microscope. Control algorithms are implemented that demonstrate cooperative control of the temperature (using calibrated Ti heater line resistances as a proxy) across the set of channels in the array. The goal of this system is to be able to generate controlled thermal, and thus microstructural, and property distribution during processing of polycrystalline materials.
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