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Optical detection of micro defect by single-pixel imaging
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作者
Kyuki Shibuya,
Yasuhiro Mizutani,
Hirotsugu Yamamoto,
Takeshi Yasui,
Tetsuo Iwata
标识
DOI:10.1109/cleopr.2015.7376458
摘要
We propose an optical detection method of micro defect by single-pixel imaging microscopy. Our results demonstrate the micro defect imaging by detecting an anisotropic scattered light on mirror surface.
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