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材料科学 微流控 过滤（数学） 薄脆饼 滤波器（信号处理） 等离子体 共聚物 体积热力学 纳米技术 聚合物 复合材料 计算机科学 物理 统计 量子力学 数学 计算机视觉
作者
Luca Spigarelli,Valentina Bertana,Daniele Marchisio,Luciano Scaltrito,Sergio Ferrero,Matteo Cocuzza,Simone Luigi Marasso,Giancarlo Canavese,Candido Fabrizio Pirri
出处
期刊：Microelectronic Engineering [Elsevier]
日期：2019-03-01 卷期号：209: 28-34 被引量：15
标识
DOI：10.1016/j.mee.2019.02.011
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