执行机构
微电子机械系统
直线（几何图形）
材料科学
计算机科学
光电子学
人工智能
几何学
数学
作者
Yuan Hsing Fu,Roberto Carminati,Huanhuan Wang,Leh Woon Lim,Narak Choi,Keng Heng Lai,Charmaine Goh,Yat Fung Tsang,Navab Singh,Qingxin Zhang
标识
DOI：10.1364/cleo_si.2024.sf2j.6
摘要
A 1D line-scan metalens integrated MEMS actuator with a field-of-view 80° × 60° has been demonstrated as proof-of-concept. This metalens integrated MEMS actuator shows promise as a compact optical module for depth sensing applications.
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