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Stability of Metal Oxide Semiconductor Gas Sensors: A Review

材料科学 半导体 理论(学习稳定性) 纳米技术 湿度 信号(编程语言) 氧化物 环境科学 计算机科学 光电子学 物理 冶金 热力学 机器学习 程序设计语言
作者
Hongfeng Chai,Zichen Zheng,Kewei Liu,Jinyong Xu,Kaidi Wu,Yifan Luo,Hanlin Liao,Marc Debliquy,Chao Zhang
出处
期刊:IEEE Sensors Journal [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:22 (6): 5470-5481 被引量:91
标识
DOI:10.1109/jsen.2022.3148264
摘要

Sensor stability is defined as the ability to maintain a relatively stable and repeatable signal over a sufficient period. Long-term stability for gas sensors is an essential capability for carrying out long-term data collection of human exhaled breath, environmental monitoring and other gas detection in the modern electronic information age. This article reviews the research advances on the stability of metal oxide semiconductor gas sensors in the past five years. The impact of structure, environment, toxicity and sensor array on the sensor stability are discussed. Then, the improvement schemes of existing materials and structure design are summarized. The achievements of structure doping, humidity, anti-poisoning and photoactivation are overviewed. Finally, the great significance of elucidating the sensing mechanism and carrying out the life acceleration test for future research and development is pointed out.
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