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Aluminum films prepared by metal-organic low pressure chemical vapor deposition

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作者
M. L. Green,R. Lévy,Ralph G. Nuzzo,E. Coleman
出处
期刊:Thin Solid Films [Elsevier BV]
卷期号:114 (4): 367-377 被引量:84
标识
DOI:10.1016/0040-6090(84)90136-6
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