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作者
Yukio Furukawa,
Susumu Noda,
Masahiro Ishii,
Akihiro Wakahara,
Akio Sasaki
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Nature]
日期:1999-05-01
卷期号:28 (5): 452-456
被引量:12
标识
DOI:10.1007/s11664-999-0095-x
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