PARMS coating technology for UV to IR laser applications

涂层 材料科学 激光器 光学 纳米技术 物理
出处
期刊:PhotonicsViews [Wiley]
卷期号:21 (5): 56-56
标识
DOI:10.1002/phvs.202470515
摘要

Abstract Reactive sputtering using a medium frequency (MF) dual magnetron source is an advanced technique widely employed in various thin film deposition applications. For the production of high‐quality optical filters based on oxides with low losses, it is crucial to exclude any form of arcing, including both strong arcs and microarcs. These requirements are solved by plasmaassisted reactive magnetron sputtering (PARMS), which also provides a high deposition rate contributing to the economically efficient production of high‐end optical filters.

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