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Effects of mechanical agitation and surfactant additive on silicon anisotropic etching in alkaline KOH solution

蚀刻（微加工）材料科学硅肺表面活性物质表面粗糙度化学工程水溶液反应离子刻蚀润湿复合材料分析化学（期刊）化学冶金色谱法有机化学图层（电子）工程类

作者

Chii-Rong Yang,Po-Ying Chen,Yuang-Cherng Chiou,Rong-Tsong Lee

出处

期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2004-10-05 卷期号：119 (1): 263-270 被引量：86

标识

DOI：10.1016/j.sna.2004.07.015

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