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Effects of carbon nanoparticle insertion on stress reduction in hydrogenated amorphous carbon films using plasma chemical vapor deposition

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作者
Shinjiro Ono,Sung-Hwa Hwang,Takamasa Okumura,Naoto Yamashita,Kunihiro Kamataki,Haruki Kiyama,Naho Itagaki,Kazunori Koga,Masaharu Shiratani
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier]
日期：2024-10-11 卷期号：150: 111654-111654
标识
DOI：10.1016/j.diamond.2024.111654
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