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Mechanism of the interaction between Al2O3 and SiO2 during the chemical-mechanical polishing of sapphire with silicon dioxide

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作者

Е. А. Вовк,А. Т. Будников,M.V. Dobrotvorskaya,С. И. Кривоногов,A. Ya. Dan’ko

出处

期刊：Surface investigation: x-ray, synchrotron and neutron techniques [Springer Nature]
日期：2012-02-01 卷期号：6 (1): 115-121 被引量：56

标识

DOI：10.1134/s1027451012020188

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