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作者
Kateryna Bazaka,Oleg Baranov,Uroš Cvelbar,Bojan Podgornik,Y. Wang,Shiyong Huang,Luxiang Xu,J. W. M. Lim,Igor Levchenko,Shuyan Xu
出处
期刊:Nanoscale
[The Royal Society of Chemistry]
日期:2018-01-01
卷期号:10 (37): 17494-17511
被引量:43
摘要
Oxygen plasmas feature certain properties that make them attractive not only for material removalviaetching and sputtering, but also for driving and sustaining nucleation and growth of various nanostructures in plasma bulk and on plasma-exposed surfaces.
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