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Aluminum doping of epitaxial silicon carbide

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作者
Urban Forsberg,Örjan Danielsson,Anne Henry,Margareta K. Linnarsson,Erik Janzén
出处
期刊：Journal of Crystal Growth [Elsevier]
日期：2003-05-13 卷期号：253 (1-4): 340-350 被引量：63
标识
DOI：10.1016/s0022-0248(03)01045-5
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