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High repeatability UV flexible photodetector based on AlInN film prepared by sputtering

重复性 溅射 光电探测器 材料科学 光电子学 薄膜 纳米技术 化学 色谱法
作者
S.S. Xue,Wanlei Chen,Ouxiang Zhou,Mengyao Han,Dongli Qi,Quanjun Li,Xiaotian Zhu,Longhai Shen
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2024-09-08 卷期号：230: 113634-113634
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2024.113634
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