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Peculiarities of Si and SiO2 Etching Kinetics in HBr + Cl2 + O2 Inductively Coupled Plasma

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作者
Byung Jun Lee,Alexander Efremov,Jihun Kim,Changmok Kim,Kwang‐Ho Kwon
出处
期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Nature]
日期：2018-11-10 卷期号：39 (1): 339-358 被引量：18
标识
DOI：10.1007/s11090-018-9943-x
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