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High figure-of-merit film bulk acoustic wave resonator based on Al0.87Sc0.13N film prepared using a novel dual-stage method

功勋 谐振器 材料科学 声表面波 光电子学 声学 电气工程 物理 工程类
作者
Lishuai Zhao,Peidong Ouyang,Xinyan Yi,Guoqiang Li
出处
期刊：IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/led.2024.3381172
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