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Detecting Wafer-Level Cu Pillar Defects using Advanced 3D X-ray Microscopy (XRM) with Submicron Resolution

薄脆饼 材料科学 支柱 显微镜 X射线 分辨率（逻辑） 固体力学 光学 复合材料 纳米技术 机械工程 工程类 计算机科学 物理 人工智能
作者
Susan Li,J W Frame,Edita Madriaga-Berry,Jose Hulog,Ming Zhang,Masako Terada,Allen Gu,David Taraci
出处
期刊：Journal of Failure Analysis and Prevention [Springer Nature]
日期：2024-09-17
标识
DOI：10.1007/s11668-024-02031-4
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