Deposition and characterization of crystalline conductive RuO2 thin films

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作者
Q. X. Jia,Shigeng Song,S. R. Foltyn,Xin Wu
出处
期刊:Journal of Materials Research [Springer Nature]
卷期号:10 (10): 2401-2403 被引量:19
标识
DOI:10.1557/jmr.1995.2401
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