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Effects of gas pressure on plasma characteristics in dual frequency argon capacitive glow discharges at low pressure by a self-consistent fluid model

氩 材料科学 电容感应 对偶（语法数字） 等离子体 气体压力 原子物理学 物理 核物理学 电气工程 石油工程 文学类 工程类 艺术
作者
Liang Zhao,Yue Liu,Tagra Samir
出处
期刊：Chinese Physics B [IOP Publishing]
日期：2017-12-01 卷期号：26 (12): 125201-125201 被引量：7
标识
DOI：10.1088/1674-1056/26/12/125201
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