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Oxygen-atom Incorporated Ferroelectric AIScN Capacitors for Multi-level Operation

电容器 铁电性 氧气 材料科学 氧原子 光电子学 铁电电容器 Atom（片上系统） 电气工程 电子工程 电压 计算机科学 化学 电介质 嵌入式系统 工程类 有机化学 分子
作者
Si-Meng Chen,Hirofumi Nishida,Sung-Lin Tsai,Takuya Hoshii,Kazuo Tsutsui,Hitoshi Wakabayashi,Edward Yi Chang,Kuniyuki Kakushima
出处
期刊：IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01 卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/led.2024.3453111
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