亲爱的研友该休息了!由于当前在线用户较少,发布求助请尽量完整的填写文献信息,科研通机器人24小时在线,伴您度过漫漫科研夜!身体可是革命的本钱,早点休息,好梦!

Highly Sensitive SAW Pressure Sensor Based on Simply Supported Beam

谐振器 材料科学 压力传感器 灵敏度(控制系统) 梁(结构) 声学 基质(水族馆) 声表面波 光电子学 光学 电子工程 机械工程 工程类 物理 海洋学 地质学
作者
Yuntao Yang,Bin Peng,Zhaofeng Sun,Fei Huang,Wanli Zhang
出处
期刊:Journal of physics [IOP Publishing]
卷期号:2625 (1): 012044-012044
标识
DOI:10.1088/1742-6596/2625/1/012044
摘要

Abstract In this work, a SAW pressure sensor based on a simply supported beam was designed and fabricated. The SAW resonator deposited on 128° YX-lithium niobate (LNO) substrate was used as the sensing element. The LNO substrate was used as a simply supported beam, therefore strain transfer loss was avoided and uniaxial stress was directly applied to the SAW resonator. An indenter with two ledges was used to indent the LNO beam and then uniform strain was applied to the SAW resonator. The sensitivity was experimentally measured in a pressure range of 330 kPa. The results demonstrated that the sensitivity of the SAW pressure sensor in this work was as high as 2514 ppm/MPa. The high pressure sensitivity of the proposed SAW pressure sensor was analyzed. The device structure of the proposed SAW pressure sensor may help to design highly sensitive SAW pressure sensors.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
大幅提高文件上传限制,最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
十二个完成签到,获得积分10
1秒前
14秒前
葛二蛋完成签到,获得积分10
14秒前
15秒前
55秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
1分钟前
xuzj完成签到 ,获得积分10
1分钟前
哈哈哈完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
琪凯定理完成签到,获得积分10
1分钟前
琪凯定理发布了新的文献求助10
1分钟前
春夏爱科研完成签到,获得积分10
1分钟前
野椒搞科研完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
野椒搞科研发布了新的文献求助200
1分钟前
体贴花卷发布了新的文献求助10
1分钟前
科研通AI2S应助体贴花卷采纳,获得10
2分钟前
2分钟前
2分钟前
2分钟前
zhangchaohui555完成签到,获得积分20
2分钟前
诚心的信封完成签到 ,获得积分10
2分钟前
3分钟前
3分钟前
Yasmine发布了新的文献求助10
3分钟前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
3分钟前
zj完成签到 ,获得积分10
3分钟前
3分钟前
3分钟前
Wilson完成签到 ,获得积分10
3分钟前
xfcy完成签到,获得积分10
4分钟前
AARON完成签到,获得积分10
4分钟前
xfcy发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
4分钟前
归tu发布了新的文献求助10
4分钟前
4分钟前
Yasmine完成签到,获得积分10
5分钟前
5分钟前
高分求助中
Licensing Deals in Pharmaceuticals 2019-2024 3000
Cognitive Paradigms in Knowledge Organisation 2000
Introduction to Spectroscopic Ellipsometry of Thin Film Materials Instrumentation, Data Analysis, and Applications 1800
Natural History of Mantodea 螳螂的自然史 1000
A Photographic Guide to Mantis of China 常见螳螂野外识别手册 800
How Maoism Was Made: Reconstructing China, 1949-1965 800
Barge Mooring (Oilfield Seamanship Series Volume 6) 600
热门求助领域 (近24小时)
化学 医学 生物 材料科学 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 基因 遗传学 催化作用 物理化学 免疫学 量子力学 细胞生物学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 3314391
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 2946633
关于积分的说明 8531170
捐赠科研通 2622376
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1434483
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 665329
邀请新用户注册赠送积分活动 650881