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作者
Kevin A. Pears,
M. Stavrev,
Alessia Scire,
Ralf Koepe,
Matthias Markert,
Ulrich Egger,
L.A. Donohue
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier]
日期：2005-05-25
卷期号：81 (1): 156-161
被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.mee.2005.05.002
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