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Microfabrication of piezoelectric MEMS based on thick LiNbO3 single-crystal films

微加工 材料科学 压电 微电子机械系统 单晶 光电子学 纳米技术 复合材料 结晶学 制作 医学 病理 化学 替代医学
作者
Merieme Ouhabaz,Djaffar Belharet,Quentin Micard,Mario Costanza,Giada Giuffrida,Ausrine Bartasyte,Carlo Trigona,Samuel Margueron
出处
期刊：Nanotechnology [IOP Publishing]
日期：2024-01-04 卷期号：35 (18): 185504-185504
链接
hal.science hal.science nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1088/1361-6528/ad1b00
摘要
Microfabrication procedure of piezoelectric micro electro-mechanical systems based on 5
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