Three-dimensional modelling of 300 mm Czochralski silicon crystal growth with a transverse magnetic field

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作者
Wenkai Liu,Songsong Chen,Yun Liu,Zhican Wen,Fuman Jiang,Zhongying Xue,Xing Wei,Yuehui Yu
出处
期刊:CrystEngComm [The Royal Society of Chemistry]
卷期号:25 (24): 3493-3500
标识
DOI:10.1039/d3ce00017f
摘要

A method including a polynomial fitting step was proposed for crystallization interface correction of Czochralski crystal growth simulation, which can obtain an axisymmetric interface under a non-axisymmetric flow when the crystal rotates.
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