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An electrostatic adsorption actuation module and its application

吸附 材料科学 静电学 化学 纳米技术 化学工程 控制工程 工程类 物理化学
作者
Xiaozheng Li,Yonghao Ma,Chuang Wu,Yajun Wang,Xing Gao,Chongjing Cao
出处
期刊：Sensors and Actuators A-physical [Elsevier]
日期：2024-11-01 卷期号：: 116020-116020
标识
DOI：10.1016/j.sna.2024.116020
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