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Interdiffusion behaviors observation in TiN/ZrO N bilayer by XAS and ToF-SIMS

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作者

Yanyan Yuan,Philippe Jonnard,Karine Le Guen,Bingye Zhang,Anouk Galtayries,Angelo Giglia,Yuchun Tu,Chao Yan,Rui Lan,Rui Liu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2020-06-16 卷期号：528: 146968-146968 被引量：1

链接

hal.science hal.science hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.frdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2020.146968

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