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Fabrication of Three-Dimensional Microstructures on GaN Surfaces through the Integration of Femtosecond Laser Ablation and ICP Etching

材料科学 飞秒 光学 制作 蚀刻（微加工） 烧蚀 激光烧蚀 激光器 光电子学 微观结构 纳米技术 复合材料 医学 物理 替代医学 工程类 病理 图层（电子） 航空航天工程
作者
Yan Ou,Peiling Kong,Jinwen Qian,Yifeng Xiao,Sheng Li,Zhengqiang Feng,Minmin Sheng
出处
期刊：Optics Communications [Elsevier]
日期：2024-06-26 卷期号：569: 130822-130822
标识
DOI：10.1016/j.optcom.2024.130822
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