Experimental investigation into micromilling of microgrooves on titanium by electrochemical micromachining

材料科学 表面微加工 机械加工 微电子机械系统 电火花加工 生物相容性 钛合金 制作 纳米技术 冶金 医学 病理 替代医学 合金
作者
Sandip S. Anasane,B. Bhattacharyya
出处
期刊:Journal of Manufacturing Processes [Elsevier]
卷期号:28: 285-294 被引量:28
标识
DOI:10.1016/j.jmapro.2017.06.016
摘要

Titanium possesses excellent physical and chemical properties such as higher strength to weight ratio, greater biocompatibility and outstanding corrosion resistance. Therefore, titanium is highly demanding material in aerospace to biomedical applications from macro to micro scale levels. However, machining of titanium in macroscopic or microscopic domain is a complex task either by conventional or nonconventional machining processes. Electrochemical micromachining (EMM) could be one of the alternatives for machining of titanium in microscopic area. The study elaborated in this paper demonstrates successful micromilling of through microgrooves on pure commercial titanium utilizing maskless electrochemical micromachining. Layer-by-layer micromilling strategy has been successfully employed with the help of in-situ fabricated disc shape microtool for micromilling of through microgrooves. Influence of various EMM process parameters such as machining voltage, pulse frequency and microtool feedrate on machining accuracy of through microgrooves were also investigated and established most suitable EMM process parameters for successful micromilling of through microgrooves on pure titanium. This paper also demonstrated successful fabrication of few complex geometry microgrooves by electrochemical micromilling for practical applications. Micromilling of microgrooves on pure titanium by EMM may find vital applications for MEMS, micro fluidics, microsensors, micro engineering and biomedical systems.

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