Color filter and numeric aperture selections for image based overlay measurement in critical recording head manufacturing process

覆盖 计量学 计算机科学 工作流程 平版印刷术 光学 数据库 物理 程序设计语言
作者
Gavin Mathias,Yi Liu,Richard Schuster,Aaron Bowser
标识
DOI:10.1117/12.2550692
摘要

Overlay control for recording head manufacturing is becoming increasingly challenging as design geometry specifications tighten in the transition to advanced Heated Assisted Magnetic Recording (HAMR) devices. As overlay control requirements for critical patterning layers tighten below 5nm, the need for accurate and robust overlay metrology is key to enabling the patterning roadmap and improving yields. This work focuses on improving Imaged Based Overlay (IBO) metrology to ensure accurate overlay measurements for critical lithography steps in the recording head fabrication process. Selection of the optimal settings for color filter and Numeric Aperture (NA) parameters can have a significant impact on overlay measurement accuracy and Total Measurement Uncertainty (TMU) when setting up a new overlay metrology recipe1-2. These overlay metrology recipe parameters can be selected to minimize the influence of process induced overlay target imperfections on the measured overlay 3. This paper reports our revised workflow for selecting IBO measurement conditions and evaluating pre-existing recipes for robustness. We utilize metrics such as the overlay model residuals, Tool Induced Shift (TIS), and Qmerit error in identifying recipes requiring improvement. The new “Train Log” feature available on KLA’s Archer™ IBO metrology tool platform can be used to compare the through focus contrast precision of different illumination conditions at the time of recipe creation. In this study, we show that an optimization workflow that utilizes the “Train Log” collection of the contrast precision metric and imageless recipes in selecting color filter and numeric aperture settings can significantly improve the overlay measurement repeatability and tool to tool matching.
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
更新
PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
mint完成签到,获得积分10
2秒前
afli完成签到 ,获得积分0
5秒前
6秒前
Yy完成签到 ,获得积分10
9秒前
Nayvue发布了新的文献求助10
11秒前
feng完成签到,获得积分10
11秒前
淡淡的小蘑菇完成签到 ,获得积分10
14秒前
G_Serron完成签到,获得积分10
15秒前
swordshine完成签到,获得积分10
15秒前
Anonymous完成签到,获得积分10
19秒前
medzhou完成签到,获得积分10
23秒前
儒雅的千秋完成签到,获得积分10
31秒前
普鲁卡因发布了新的文献求助10
34秒前
小雯完成签到,获得积分10
35秒前
搞怪梦寒完成签到,获得积分20
36秒前
喵了个咪完成签到 ,获得积分10
37秒前
mc完成签到 ,获得积分10
39秒前
量子星尘发布了新的文献求助10
42秒前
43秒前
43秒前
虚幻谷波完成签到,获得积分10
45秒前
ruochenzu发布了新的文献求助10
48秒前
小马甲应助搞怪梦寒采纳,获得10
50秒前
firewood完成签到 ,获得积分10
51秒前
天天快乐应助普鲁卡因采纳,获得10
53秒前
orixero应助NXK采纳,获得10
53秒前
bjr完成签到 ,获得积分10
55秒前
研友_LwlAgn完成签到,获得积分10
59秒前
陈昊完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
tian发布了新的文献求助10
1分钟前
1分钟前
1分钟前
龙舞星完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
王涉发布了新的文献求助10
1分钟前
普鲁卡因发布了新的文献求助10
1分钟前
量子星尘发布了新的文献求助10
1分钟前
柚子完成签到,获得积分10
1分钟前
1分钟前
高分求助中
【提示信息,请勿应助】关于scihub 10000
Les Mantodea de Guyane: Insecta, Polyneoptera [The Mantids of French Guiana] 3000
徐淮辽南地区新元古代叠层石及生物地层 3000
The Mother of All Tableaux: Order, Equivalence, and Geometry in the Large-scale Structure of Optimality Theory 3000
Handbook of Industrial Diamonds.Vol2 1100
Global Eyelash Assessment scale (GEA) 1000
Picture Books with Same-sex Parented Families: Unintentional Censorship 550
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 生物化学 物理 内科学 纳米技术 计算机科学 化学工程 复合材料 遗传学 基因 物理化学 催化作用 冶金 细胞生物学 免疫学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 4038128
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 3575831
关于积分的说明 11373827
捐赠科研通 3305610
什么是DOI,文献DOI怎么找? 1819255
邀请新用户注册赠送积分活动 892655
科研通“疑难数据库(出版商)”最低求助积分说明 815022