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Grain Growth, Stress, and Impurities in Electroplated Copper

材料科学电镀冶金退火（玻璃）铜杂质粒度晶粒生长镀铜压力（语言学）图层（电子）复合材料语言学化学哲学有机化学

作者

S. H. Brongersma,Emma Kerr,I. Vervoort,A. Saerens,K. Maex

出处

期刊：Journal of Materials Research [Springer Nature]
日期：2002-03-01 卷期号：17 (3): 582-589 被引量：107

标识

DOI：10.1557/jmr.2002.0082

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