Combine TEM with TCAD Simulation - A Novel Approach in Failure Analysis

计算机科学 动作(物理) 内容(测量理论) 可靠性工程 工程类 物理 数学 量子力学 数学分析
作者
Yu Zhang,Satish Kodali,Edmund Banghart,T. B. Mitchell,F.H. Baumann
出处
期刊:Microscopy and Microanalysis [Cambridge University Press]
卷期号:27 (S1): 1548-1549
标识
DOI:10.1017/s1431927621005717
摘要

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