A Novel Multi-Modal Learning Approach for Cross-Process Defect Classification in TFT-LCD Array Manufacturing

情态动词 薄膜晶体管 过程(计算) 计算机科学 液晶显示器 制造工艺 工程类 工程制图 人工智能 制造工程 材料科学 纳米技术 操作系统 图层(电子) 高分子化学 复合材料
作者
Yi Liu,W.I Lee,Hsueh-Ping Lu,Hung‐Wen Chen
出处
期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/tsm.2024.3448359
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