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Efficient ablation of silicon with high power GHz femtosecond laser source

硅 飞秒 材料科学 光电子学 激光烧蚀 激光器 烧蚀 功率（物理） 光学
作者
E. Mottay,G. Bonamis,K. Mishchik,J. Lopez,E. Audouard,C. Hönninger,I. Manek-Hönninger
标识
DOI：10.1364/cleo_at.2019.atu3i.7
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