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High-performance UV detectors based on room-temperature deposited amorphous Ga2O3 thin films by RF magnetron sputtering

材料科学 无定形固体 紫外线 溅射沉积 光电子学 探测器 溅射 薄膜 光学 纳米技术 物理 结晶学 化学
作者
Shun Han,Xiaoling Huang,Mingzhi Fang,Weiguo Zhao,Shijie Xu,Deliang Zhu,Wangying Xu,Ming Fang,Wenjun Liu,Peijiang Cao,Youming Lu
出处
期刊：Journal of Materials Chemistry C [The Royal Society of Chemistry]
日期：2019-01-01 卷期号：7 (38): 11834-11844 被引量：48
标识
DOI：10.1039/c9tc03613j
摘要
Room-temperature-fabricated amorphous Ga2O3 is an inexpensive and highly sensitive material for high-performance solar-blind ultraviolet (UV) (220–280 nm) detectors, which are extremely useful given the widespread use of solar-blind UV photoelectronic technology.
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