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A Review on Hybrid Bonding Interconnection and Its Characterization

互连 表征（材料科学） 材料科学 纳米技术 计算机科学 电信
作者
Chien-Kang Hsiung,Kuan‐Neng Chen
出处
期刊：IEEE Nanotechnology Magazine [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-04-01 卷期号：18 (2): 41-50 被引量：3
标识
DOI：10.1109/mnano.2024.3358714
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