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LithoPW: Leveraging Visual Memory Encoding and Defect-Aware Optimization for Precise Determination of the Lithography Process Windows

编码（内存） 计算机科学 过程（计算） 平版印刷术 随机存取存储器 并行计算 计算机硬件 人工智能 程序设计语言 材料科学 光电子学
作者
Jiwei Shen,Shujing Lyu,Yue Lu
出处
期刊：IEEE Transactions on Circuits and Systems for Video Technology [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-04-30 卷期号：34 (10): 9298-9310
标识
DOI：10.1109/tcsvt.2024.3395274
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