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Enhanced grain orientation in Sb2Se3 thin films deposited on Mo/BSG substrates via RF-sputtering and selenization

材料科学溅射薄膜粒度冶金光电子学纳米技术

作者

Mehmet Ender Uslu,Katri Muska,Maris Pilvet,Sergei Bereznev,Valdek Mikli,Marit Kauk‐Kuusik,Maarja Grossberg-Kuusk

出处

期刊：Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier]
日期：2024-08-23 卷期号：184: 108835-108835

标识

DOI：10.1016/j.mssp.2024.108835

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