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Ultra-large suspended graphene as a highly elastic membrane for capacitive pressure sensors

石墨烯 电容感应 材料科学 膜 纳米技术 压力传感器 复合材料 光电子学 机械工程 电气工程 化学 工程类 生物化学
作者
Yu-Min Chen,Shih‐Ming He,Chi‐Hsien Huang,Cheng-Chun Huang,Wen‐Pin Shih,Chun-Lin Chu,Jing Kong,Ju Li,Ching‐Yuan Su
出处
期刊：Nanoscale [The Royal Society of Chemistry]
日期：2016-01-01 卷期号：8 (6): 3555-3564 被引量：117
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/c5nr08668j
摘要
We prepared ultra-large suspended graphene membranes (up to 1.5 mm) through solvent replacement, followed by thermal decomposition. A capacitive pressure sensor was fabricated, which showed a linear response and high sensitivity of 15.15 aF Pa−1.
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